带有金色反光罩的红外线灯泡

在晶圆厂车间，烘烤温度漂移0.3°C 就足以影响关键尺寸控制，导致大量产品报废。在执行软烘烤和硬烘烤时，不能依赖运气，而需要重复性。这就是我们采用带金反射器的红外灯泡以匹配工艺实际需求的原因。 核心技术细节 光源为石英短波红外发射器，配备镀金反射器以聚焦能量并降低散射。整个烘烤板上，我们实现晶圆级...