节能型晶圆加热器

停止为机器加热，改为直接为晶圆加热吧 如果您曾经处理过半导体晶圆，就会明白其中的难题。虽然需要让晶圆保持高温状态，但又不想让其他昂贵的设备也变成巨大的热源。 大多数传统的辐射式加热器会将热量散布到各个地方。它们会使设备内部的结构变成散热器，从而浪费大量电能。最糟糕的是，这些加热器还会使设备外壳变得...