MEMS传感器晶圆干燥加热器

避免灾难发生：安全干燥MEMS晶圆 事实上，对经过化学清洗后的MEMS传感器晶圆进行干燥，简直就像在玩火一样危险。加热元件与极易爆炸的溶剂蒸汽处于同一空间内，因此不能简单地将普通红外灯放入该环境中使用。 正因如此，我们才注重采用封装技术。我们实际上是在为红外灯打造一个“防护罩”，从而避免灾难的发生...