曝光后烘烤 PEB 加热器

在光刻工厂中，曝光后的烘烤过程至关重要，它直接决定了产品尺寸控制的精度。如果晶圆上的温度偏差达到半度，就足以使线宽超出合格范围，这样一来，之前投入的数小时曝光和蚀刻时间就白费了。因此，我们的PEB加热器被设计成能够始终维持稳定的温度，确保每批次产品的质量。 关键在于内部结构 我们使用的是短波红外发...