Auf der Wafltoberfläche bedeutet eine Temperaturabweichung von 2°C während des Weichbrennvorgangs nicht nur eine Abweichung vom gewünschten Wert – es führt auch zu Ausschuss. Die Empfindlichkeit des Photoresists, die gewünschte Linienbreite sowie die zulässigen Defektdichten hängen alle von einer wiederholbaren und gleichmäßigen Wärmeabgabe ab. Wenn das thermische Profil schwankt, entstehen Probleme wie Anhaftungen oder Unregelmäßigkeiten, die erst später im Prozessprozess erkennbar werden.
Was wirklich wichtig ist
Wir entwickeln maßgeschneiderte Infrarotheizer, die den Anforderungen des Waferverarbeitungsprozesses entsprechen. Dabei werden kurzwellige oder mittelwellige Strahlquellen verwendet, um die benötigte Absorption sowie die Dauer des Brennvorgangs zu erreichen. Das Ziel ist eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Wafltoberfläche – innerhalb von ±0,1°C in der beheizten Zone. Dadurch bleibt der Brennvorgang innerhalb der zulässigen Parameter. Die Wiederholgenauigkeit der Temperatur ergibt sich aus einem kalibrierten Sensorsystem sowie einer stabilen Reaktion des Strahlquells. Die Geräte sind für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet. Sie besitzen Quarz- oder Keramikkomponenten sowie abgedichtete Anschlüsse, wodurch die Entstehung von Partikeln vermieden wird. Die Leistungsdichte wird an die Größe des Geräts sowie die Spannungsklasse angepasst. Die Anschlussmöglichkeiten entsprechen den vorhandenen Installationen, sodass die Integration sowohl mechanisch als auch elektrisch unkompliziert erfolgt.
Warum das in der Lithografie und beim Brennvorgang wichtig ist
Durch diese Präzision kommt es zu weniger Nachbearbeitungen und einer besseren Kontrolle der kritischen Abmessungen. Die Profile des Weich- und Hartbrennvorgangs bleiben über verschiedene Chargen hinweg stabil – es gibt weniger Abweichungen an den Rändern sowie weniger Rückstände. Der Energieverbrauch sinkt, da der Heizer schnell die gewünschte Temperatur erreicht und anschließend ohne unnötige Schwingungen ruht. Die Zuverlässigkeit der Geräte ermöglicht einen 24/7-Betrieb – die Lebensdauer der Strahlquellen ist lang genug, um minimale Wartungsunterbrechungen zu vermeiden. Das Ergebnis sind konstante Erträge und eine vorhersehbare Betriebszeit – weniger Ausfälle und weniger Ausschuss durch den Brennvorgang.
Was man von Anfang an richtig machen muss
Diese Heizer sind speziell für bestimmte Geräte konzipiert. Daher müssen Montage, Durchmesser der Öffnungen sowie andere Parameter anhand der Geometrie des Behälters festgelegt werden. Auch der Abstand zu Optiken und Sensoren ist wichtig – sonst kann die Wärmeenergie auf nahegelegene Komponenten übertragen werden. Es ist außerdem notwendig, eine kurze Einrichtungsphase einzuplanen, um die PID-Einstellungen zu optimieren und die Gleichmäßigkeit der Temperaturverteilung zu überprüfen. Sobald alles eingestellt ist, bleibt das Profil stabil – doch diese Anpassungen gehören zur Installation selbst und nicht zu einer späteren Korrektur.