UHP 超高純度 ヒーターランプ

スマートファブでUHP赤外線加熱を実際に機能させるためには、単に高性能なソフトウェアがあれば十分というわけではありません。データ層と実際に通信できるハードウェアも必要です。加熱や処理の面では、超純度のUHP赤外線ランプが役立ちます。これらのランプを使えば、ウェーハの環境を損なうことなく、正確な位置...