ファブレーザー用クォーツガラスシールド

リソグラフィーラインにおいて、フォトレジストを加熱する際にランプの温度がわずか0.5℃でも変動してしまうと、ウエハーの線幅が規格から外れてしまいます。そのようなウエハーは検査時に不合格とされます。私たちは、そのような温度変動を防ぐために、ファブ内のランプ用に石英ガラス製のシールドを開発しました。...