金属反射板付き赤外線電球

ファブフロアでは、ベーク温度が0.3℃変動するだけで、重要寸法の制御が狂い、多くの歩留まりが廃棄となる。ソフトベークおよびハードベークを運用する際には、希望ではなく再現性が求められる。そのため、プロセスの実情に合わせて金反射板を搭載した赤外線バルブを設計した。 内部構造のポイント 光源は石英内蔵の...