クォーツボート加熱ランプ製造

24時間稼働のファブフロアでは、0.5度のドリフトを無視することはできません。ソフトベイクやハードベイクが0.5℃ずれるだけでCDが変化し、歩留まりに影響し、多くのウェーハがスクラップになります。クォーツボート用加熱ランプは単なる付加装置ではなく、リソグラフィおよびレジスト処理の熱的アンカーです。...