ウェーハ装置用温度センサー

ライン上でウェハはハロゲンランプの下に位置し、フォトレジストのプロファイルを固定するソフトベイクを待っている。このベイク工程の温度が2°Cずれるだけで、クリティカルディメンションが数ナノメートル動き、ロットは現像後にのみ判明する欠陥を伴ってトラックから出てしまう。ツールは事前に警告しない。ただ熱的...