半導体製造工程での無駄な時間の削減をしましょう。 正直に言えば、シリコンウェーハを加熱するために部屋中に熱風を送り込むという方法は非常に非効率的です。つまり、空気が仕事をしてくれるのを待つだけであり、大量生産の現場ではこの遅れが大きな問題となります。これは他の作業の進行を阻害する大きな障害となりま...

爆発を防ぐために：MEMSウェーハを安全に乾燥させる方法 現実を言えば、化学的な洗浄処理の後にMEMSセンサーのウェーハを乾燥させることは、まるで火遊びのようなものです。加熱要素が、率直に言って爆発性の高い溶剤の蒸気のすぐそばにあるのです。普通の赤外線ランプをその環境に置いておくだけでは、うまくい...

なぜセンサーのパッケージングにおいて、対流式オーブンを赤外線加熱に置き換えるのか？ 現在、半導体製造業界では誰もがカーボンニュートラルについて話しています。しかし正直なところ、実際に工場でそれを実現するには、従来のやり方を変える必要があります。私たちにとって最も大きなメリットは、古い対流式オーブン...

##はじめに 想像してみてください。空気中に可燃性の洗浄剤が充満している製造現場です。このような場所では、通常のヒーターを使うと問題が起こりやすくなります。 私たちは、まさにその問題を解決するために赤外線ヒーターを開発しました。全体がしっかりと密封されており、熱源が外部の空気と完全に隔離されていま...

ライン上でウェハはハロゲンランプの下に位置し、フォトレジストのプロファイルを固定するソフトベイクを待っている。このベイク工程の温度が2°Cずれるだけで、クリティカルディメンションが数ナノメートル動き、ロットは現像後にのみ判明する欠陥を伴ってトラックから出てしまう。ツールは事前に警告しない。ただ熱的...