工具内の熱漏れを防ごう ほとんどの加熱素子は、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。半導体製造装置では、スペースが限られているため、これは大きな問題となります。熱が機械の内壁に当たり、筐体が触ると激しく熱くなってしまいます。 これは、作業員にとっての安全上のリスクだけでなく、電子部品にも悪影響を与...

スマートファブで適切な温度管理を実現するために もし、近代的なファブを構築しようとしているのであれば、従来の加熱方法ではもはや十分ではないことがわかっているでしょう。部屋に巨大なヒーターを置いておくだけでは不十分です。ソフトウェアと連携できる装置が必要です。 そこで役立つのが赤外線です。建物内の空...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには、熱という要素をうまく管理する必要があります。単に温度を適切に保つだけでは不十分です。見えない微粒子も問題となります。 一般的なヒーターは、このような環境では使い物になりません。それらはガスや微細な破片を放出してしまいます。これらは目に見...

1つの故障したランプが、あなたの全てのウェーハを台無しにするのを防ぎましょう。 高負荷の製造環境では、1つのランプが故障するだけでも大きな問題です。それはまるで悪夢のようです。 石英管が割れると、単に生産が停止するだけでなく、破片や金属フィラメントがクリーンルーム中に散乱します。そうなると、部品を...

なぜ赤外線による硬化処理が無鉛半導体に有効なのか 製造プロセスで無鉛材料を使用すると、部品の乾燥方法が完全に変わります。 多くの人々は、従来の対流式オーブンから始めます。空気を加熱し、その熱が基板に伝わることを期待します。しかし、現代の設備では、それは非効率的であり、大量のエネルギーが無駄になりま...

シャードの発生を防ぐ：カーボンファイバーIRランプでウェーハをきれいに保つ 半導体製造工場では、ランプが破損するというのは単なる技術的なトラブルではありません。それはまさに悪夢です。 高負荷時に加熱要素が壊れると、生産時間が失われるだけでなく、ガラスの破片や化学物質がウェーハの表面に飛び散ります。...

はじめに 私たちがこの赤外線ランプを開発したのには、ただ一つの理由があります。それは、高額な費用をかけずに、高性能な製品を提供することです。 もし、ファブラインを運営していて、高価な海外ブランドの製品に多額の費用を払うのに疲れているのであれば、このランプこそがあなたが求めていた製品です。これは、最...

リソグラフィーラインにおいて、フォトレジストを加熱する際にランプの温度がわずか0.5℃でも変動してしまうと、ウエハーの線幅が規格から外れてしまいます。そのようなウエハーは検査時に不合格とされます。私たちは、そのような温度変動を防ぐために、ファブ内のランプ用に石英ガラス製のシールドを開発しました。...

リソグラフィーの工程において、温度は単なるパラメーターではありません。それ自体が工程そのものなのです。ソフトベイク時に2°Cの変動があるだけで、フォトレジストの厚さが変わってしまいます。また、ハードベイク時にわずかでも温度が変動すると、重要な寸法の制御が崩れてしまいます。ウェーハは絶えず移動してお...