ウェーハ硬化ランプ用反射器

もう、ランプの故障によってウェーハのバッチが台無しになるのを防ぎましょう。 こういう最悪の状況を想像してみてください：高負荷のIR照射を行っていると、クォーツ管が破損してしまいます。これは単なる停止時間に過ぎません。ガラスの破片やタングステンフィラメントが直接ウェーハに降り注ぎます。一瞬で、全ての...