爆発を防ぐために：MEMSウェーハを安全に乾燥させる方法
現実を言えば、化学的な洗浄処理の後にMEMSセンサーのウェーハを乾燥させることは、まるで火遊びのようなものです。加熱要素が、率直に言って爆発性の高い溶剤の蒸気のすぐそばにあるのです。普通の赤外線ランプをその環境に置いておくだけでは、うまくいくはずがありません。
だからこそ、私たちは封止処理に力を入れています。つまり、ランプを囲むような構造を作り、災害が起こらないようにするのです。
漏れを防ぐ
有害なガスが電気端子に届かないように、赤外線ランプを特殊なガラスや耐薬品性のある石英で作られたケースに入れます。これは単純な物理的な障壁です。そして、セラミックと金属を使ったシールや高耐熱性のエポキシ樹脂を使って端を密封します。なぜこんな手間をかけるのか？それは、もしシールが破損した場合、蒸気が通電中のピンに当たってしまい、火花が飛び散り、大変な事態になってしまうからです。私たちは、漏れが起こらないように、常に注意を払っています。
熱、火花、配線
短波赤外線技術を使用するのは、より効率的だからです。空気を温めるのではなく、直接ウェーハの表面を加熱するのです。これにより、周囲の温度を洗浄剤の発火点以下に保つことができます。また、配線に関しても注意が必要です。PTFEやPFA製の被覆を使用します。普通のPVCでは、溶けてしまったり、配線が露出してしまったりします。それは絶対に避けたいことです。
ちょっとしたヒント：排気システムがしっかり機能しているか確認してください。どんなに優れた封止処理をしても、溶剤が溜まってしまうと大きなリスクになります。空気が循環している状態を保ちましょう。
正常に動作させるために
この封止処理の最も良い点は、フィラメントが化学物質によって腐食されないことです。つまり、ランプの寿命が長くなるのです。また、ウェーハの搬送システムが振動するため、強化されたコネクタを使用しています。これにより、部品が緩んでしまうのを防ぎます。これらは簡単に交換できるように設計されています。しかし、注意点として、部品を交換するたびにシールの状態を必ずチェックする必要があります。もしケースにひびが入っていると、安全性が失われてしまいます。
出力に関しても、バランスを取る必要があります。高い熱密度は乾燥時間を短縮しますが、同時にシールに負担がかかります。速度と安全性の間のバランスを見つけるのが重要です。