Di permukaan silika yang basah, setiap langkah yang dibuat boleh mempengaruhi kualiti hasil pengeluaran. Selepas proses pembersihan, kesan air dan kelembapan yang tinggal bukan sahaja merosakkan rupa permukaan silika, tetapi juga menyebabkan partikel-partikel tertentu melekat pada permukaan tersebut, sehingga mengganggu proses penempelan bahan fotorezistan secara seragam. Kaedah pengeringan secara konvensional pula boleh menyebabkan kerosakan pada permukaan silika serta pemindahan partikel ke permukaan tersebut. Akibatnya, silika yang dihasilkan tidak berkualiti, dan dimensi pentingnya pun berubah.
Apa yang penting sebenarnya:
Kami telah mencipta alat pengering silika tanpa sentuhan ini menggunakan sumber inframerah gelombang pendek (SWIR). Alat ini mampu memanaskan silika dengan cepat, tanpa merosakkan permukaannya. Petunjuk kualiti yang penting adalah keseragaman suhu, iaitu ±0.1°C di seluruh permukaan silika. Ini bukan sekadar angka semata-mata; kami mencapainya melalui sistem kawalan berkelajuan tinggi yang dapat mengimbangi perbezaan suhu pada setiap bahagian silika. Alat ini sesuai digunakan dalam ruang bersih kelas 1, tanpa adanya komponen yang bergerak di zon pengeringan. Sistem penapisan udara yang digunakan pula memastikan jumlah partikel di bawah tahap yang ditetapkan. Ketepatan proses pengeringan adalah sekitar 0.2°C, yang membantu menjaga kualiti silika dan sudut-sudutnya.
Alat ini sangat sesuai digunakan dalam fasiliti pengeluaran yang memproses pelbagai jenis silika. Ia berfungsi dengan baik sama ada pada lapisan oksida, nitrida, atau logam. Cara operasi tanpa sentuhan ini menghindarkan kerosakan pada permukaan silika akibat geseran, serta mengurangkan keperluan untuk menyelenggara alat tersebut. Tanggapan termal yang cepat memendekkan masa pengeringan, sehingga meningkatkan kelajuan pengeluaran tanpa menambah beban tenaga yang digunakan. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana lampu hanya memanaskan silika itu sendiri, bukan komponen lain di sekelilingnya. Hasilnya, lebih sedikit kecacatan ditemui semasa pemeriksaan, proses pengeluaran menjadi lebih tepat, dan jadual pengeluaran dapat dipercayai.
Beberapa perkara praktikal yang perlu diperhatikan: Lampu tersebut memerlukan sumber kuasa yang bersih dan stabil, serta air penyejuk yang berkualiti tinggi untuk mengekalkan suhu optik yang stabil. Penyatuan alat ini dengan sistem yang ada mudah dilakukan, tetapi laluan cahaya perlu diselaraskan dengan tepat, iaitu dalam lingkungan 0.5 mm, agar keseragaman suhu dapat dipertahankan. Sebelum menggunakan alat ini, lakukan ujian awal untuk memastikan spesifikasi substrat yang digunakan sesuai, dan pastikan profil pengeringan sesuai dengan spesifikasi bahan fotorezistan yang digunakan.