
为何在生物传感器和芯片制造中采用红外线固化技术
在制作生物传感器时,如何让那些有机层和导电聚合物保持稳定位置是个难题。需要通过加热来使这些材料稳定下来,但传统的方法效率低下且成本高昂。 因此,我们选用了红外线灯。与其使用巨大的烤箱来加热,不如直接用红外线将能量传递到材料上。这种方式更高效、更直接,也更为合理。
剔除有害物质
在半导体领域,人们开始重视“绿色标准”以及无铅制造工艺。长期以来,降低固化温度的唯一方法就是使用化学催化剂或重金属加速剂。不过,这种方法对环境和实验室工作人员都是不利的。 红外线固化技术解决了这个问题。它利用短波红外线让涂层中的分子振动,从而从内部产生热量。这个过程非常快,只需几秒钟而已。此外,无需再使用那些有害的添加剂,也不用担心洁净室的碳排放问题。
平衡热能分布
为了给生物传感器晶圆提供适当的热量,我们不能随便使用普通的灯泡。我们需要使用带有卤素填充物的石英封装体,这样才能迅速提升热量。当晶圆进入该区域后,热量立刻被释放出来;而一旦晶圆离开该区域,热量就会停止释放。这样一来,就不会有能源浪费了。 不过,这里有个棘手的问题:由于红外线的强度很高,可能会导致表面层过快固化,从而将溶剂困在下面,形成气泡。这需要精确调节功率和距离,才能达到最佳效果。
在实际应用中发挥作用
最棒的是,这种系统可以替代那些笨重的传统对流式烘干装置。使用红外线固化技术后,设备的体积会大大缩小。不用再安装那些庞大的、噪音很大的排风系统了。只需连接好电路,设定好时间,让物理原理来完成工作即可。