别再等待那些无用的热空气了：改用无臭氧的红外技术吧。
长期以来，半导体加工过程中一直采用强制送风的方式来加热工件。也就是说，先让大量空气被加热，然后再将热空气吹到工件上，希望这样能让热量充分传递给工件。
但问题在于，这种方式效率极低。此外，还有令人烦恼的热延迟现象，这会浪费时间，降低生产效率。
我们找到了更好的方法——使用无臭氧的红外灯，从而完全不必依靠空气来传递热量。直接传递能量，无需中间介质。
可以这样理解：与其等待风扇把热空气吹到工件上，不如让红外灯直接发射电磁辐射到工件上。这样一来，加热速度就会大大提升。
如果需要处理10,000片芯片的话，每轮处理时间只需减少30秒，这虽然看似微不足道，但实际上能显著提升整体效率。
那臭氧怎么办呢？
传统短波红外灯会因为发出的紫外线而产生臭氧。在洁净室里，臭氧可是大麻烦——它会侵蚀表面，破坏敏感的有机层。
为了解决这个问题，我们的红外灯采用了特殊的石英过滤装置以及改良的灯丝结构，从而有效阻挡了紫外线的传播。这样，你就能获得足够的热量，同时避免化学污染的问题。
当然，也有需要权衡的地方。
我不会说这种技术是“即插即用”的，因为它并非如此。红外光是定向的，如果工件的形状比较复杂，或者有难以触及的角落，那么那些地方就无法被加热。因此，你需要仔细设计灯的布局和反射器，确保所有区域都能均匀受热。
另外，这类灯的耗电量相当大。请确保你的电路能够承受开关启动时的电流峰值，否则你就得花时间去更换断路器了。
不过，如果你追求高精度和高效率，那么这就是最佳选择。它不仅能减小加热面积，还能大大加快处理速度。这显然是最明智的选择。