非接触式晶圆干燥灯

在晶圆处理过程中，哪怕只有一滴水落在晶圆表面，都可能影响最终的加工效果。在清洁之后，残留的水分不仅会影响外观，还会导致颗粒附着在晶圆表面，进而使光刻胶的附着效果变得不均匀。传统的接触式干燥方式则有可能造成晶圆表面出现划痕或颗粒转移的问题。这些问题最终会导致晶圆被报废，或者其关键尺寸出现偏差。 关键...