クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには、熱という要素をうまく管理する必要があります。単に温度を適切に保つだけでは不十分です。見えない微粒子も問題となります。
一般的なヒーターは、このような環境では使い物になりません。それらはガスや微細な破片を放出してしまいます。これらは目に見えないものですが、半導体ウェハーや高精度な光学部品を破壊してしまいます。そのため、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しています。
なぜ石英が重要か
私たちが使用するのは、ワット数を上げても金属イオンが漏れ出さないほど純度の高い融解シリカです。安価なガラスや低品質の石英は、急に加熱したり冷却したりすると割れたり剥がれたりします。しかし、私たちのランプはそうなりません。そのため、生産ラインが常に dust-freeの状態を維持できます。
また、これらのランプは短波長の赤外線を利用します。部品周辺の空気を温めるのではなく、エネルギーを直接基板に送り込みます。これにより、よりクリーンな環境が実現されます。
安易な方法は使わない
接続点に関しては、私たちはこだわりを持っています。接着剤も安価なプラスチックも使用しません。代わりに、セラミック製の支持体や金メッキや高品質な合金製のコンタクトを使用します。なぜかというと、高温になると安価な材料は揮発性有機化合物を放出してしまうからです。私たちはそうなるのを防ぎます。
注意すべき点
高純度の石英は赤外線エネルギーには最適ですが、慣れ親しんでいるボロシリケートガラスよりも少しもろいです。 **絶対に、素手でランプに触れてはいけません。**肌からの油分が付着し、「ホットスポット」を作ってしまいます。その場所はランプを早期に故障させる原因となります。床の上でランプを交換する際は、リントフリーの手袋やIPAウェップを用意しましょう。
私たちは、迅速な加熱と正確な硬化を実現するためにこのランプを設計しました。工業用の装置によくある粒子の問題もなく、必要な熱密度を得ることができます。完全な無汚染を目指す工場では、エミッターの純度が成功の鍵となります。