1つの故障したランプが、あなたの全てのウェーハを台無しにするのを防ぎましょう。
高負荷の製造環境では、1つのランプが故障するだけでも大きな問題です。それはまるで悪夢のようです。
石英管が割れると、単に生産が停止するだけでなく、破片や金属フィラメントがクリーンルーム中に散乱します。そうなると、部品を交換するだけでは済まず、ウェーハ全体を廃棄し、クリーンルーム全体を清掃しなければなりません。
私たちはこの問題を解決するために、赤外線ランプを特別に設計しました。これにより、管内の破片がウェーハに触れないようになります。
破片が飛び散るのを防ぐ方法
まず、使用する材料から始めます。私たちは、急激な加熱や冷却にも耐えられる高純度の合成石英を使用しています。
しかし、それだけではありません。私たちは特殊な保護コーティングも追加しました。これはまるで安全装置のようなものです。もし内部のフィラメントが壊れて管が割れても、このコーティングがすべてを固定してくれます。そうすれば、破片が散乱することはなく、管理がずっと容易になります。
過酷な状況に耐えるための設計
ランプを最も高いワット数で動かすのは非常に厳しいです。封止部分にかかるストレスが原因で、多くのランプが故障してしまいます。
これに対処するため、私たちは電極を補強し、ガスの量を調整して内部圧力を安定させています。これにより、恐ろしい「エンドキャップの破裂」を防ぐことができます。また、管の直径の公差も非常に厳しく管理されており、ランプがハウジング内にしっかりと収まり、通常は早期の疲労を引き起こす振動も抑えられます。
正直な取引の代償
ただし、このような安全コーティングによって、赤外線の出力がわずかに低下します。裸の管と比べて、放射熱が3～5％減少することがあります。そのため、プロセスを正常に維持するためには、出力を上げたり、起動時間を数秒増やしたりする必要があります。
しかし、正直に言えば、クリーンルームを完全に清掃するコストと比べれば、数秒の加熱時間は安いものです。
導入方法
これらは、既存の装置に簡単に取り付けられるように設計されています。電圧やワット数を確認し、配線を行えば、その後は保護システムがすべてを管理してくれます。