シャードの発生を防ぐ：カーボンファイバーIRランプでウェーハをきれいに保つ
半導体製造工場では、ランプが破損するというのは単なる技術的なトラブルではありません。それはまさに悪夢です。
高負荷時に加熱要素が壊れると、生産時間が失われるだけでなく、ガラスの破片や化学物質がウェーハの表面に飛び散ります。一度壊れてしまうと、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。
熱と圧力に対処する
このような環境下では、熱密度が非常に高くなるため、通常のタングステンフィラメントでは不十分です。他の金属は柔らかくなってしまいますが、カーボンファイバーはそのままの形を保ちます。
クォーツ製の外装がそのような圧力に耐えられるように、私たちは熱膨張率が極めて低いガラスを使用しています。これにより、急激な温度変化にも対応できます。
しかし、本当に危険なのはシール部分です。
私たちはエンドキャップに特殊な融合接合処理を施しています。なぜかというと、急速に温度が変化すると内部の圧力が上昇し、シールが破れてしまうからです。電源の電圧が急上昇しても、カーボンファイバーの方が金属よりもその衝撃をうまく吸収できます。これが、ちょっとした問題と完全な破壊との違いです。
より良い遮断層を作る
私たちはクォーツをそのままにしておかず、高純度の保護コーティングを塗布しています。これにより、内部で破損が起きても、破片がその場所に留まります。
また、コネクタについても注意が必要です。振動によって疲労が生じ、接続部が緩むとホットスポットが発生します。ホットスポットによってガラスが溶けてしまいます。ですから、精密に調整された端子を使用して、そうした故障の可能性を完全に排除しています。
実際の環境での利用
この装置は非常に高い熱量を発生させますが、それによって筐体に大きな負担がかかります。
これらのランプは非常に高温になります。
冷却ファンやヒートシンクが、装置全体の消費電力に耐えられるかどうかを確認する必要があります。ランプ周辺の空気が過剰に温まると、シール部分が本来よりも早く劣化してしまいます。
安定した空気の流れを維持すれば、ランプの寿命が延び、より安心して作業できます。