オゾンフリー赤外線ランプ

もう、熱風を待つのはやめましょう。オゾンを使わない赤外線を利用しましょう。 長い間、半導体製造では強制送風が一般的でした。大量の空気を加熱して、それを部品の周りに送り込み、ウェハーに十分なエネルギーが伝わることを期待していました。 しかし、問題は速度が遅いことです。余計な時間がかかり、生産効率が低...