機械を加熱するのをやめて、ウェーハを加熱しましょう
ほとんどの赤外線ランプは、熱をあらゆる方向に放出します。つまり、360度全方位に熱が飛び散るのです。狭い半導体製造装置の中で作業していると、これは大変な問題です。
結果として、ウェーハではなく、機械の内壁を加熱するために大量のエネルギーが無駄に消費されます。その結果、チッセルの温度が高すぎて触れることができず、冷却システムも機能不全に陥ります。
私たちは、より良い方法を考案しました。それが「方向性を持った赤外線技術」です。
熱を適切な場所に送る
これは、電球と懐中電灯の違いに似ています。熱があちこちに散らばるのではなく、内部の反射板や特殊なコーティングを使って、エネルギーを集中させて特定の方向に送り込みます。そうすれば、空気を加熱したり、チッセルを焼いたりすることはありません。単純にワークピースだけを加熱できます。これはずっと効率的です。
スプラッシュゾーンの対処
洗浄ステーションは、本来、湿気の多い場所です。水と電気は相性が悪いのです。通常の石英管が水に濡れると、通常は壊れてしまいます。
この問題を解決するため、私たちは耐水性の高い密封構造を持つランプを開発しました。これにより、水分が電極から遠ざけられ、継続的な加熱や冷却にも耐えられます。
カバレッジに関する現実的な検討
精度を高めるには、何かしらの妥協が必要です。これらのランプは熱を特定の点に集中させるため、通常のランプのように広範囲にわたって熱を与えることはできません。もし、広範囲にわたって均一な熱が必要な場合は、単にランプを交換するだけでは不十分です。重なり合うビームを持つ複数のランプを使って、適切なカバレッジを実現する必要があります。
クールで安全な状態を維持する
機械をオーブンのように使わないようにすれば、すべてが簡単になります。オペレーターは焦げたパネルの心配をする必要がなく、チッセルが過熱して緊急停止するという問題も起きません。洗浄に必要な熱密度は得られますが、機械自体は管理しやすい状態に保たれます。PIDコントローラーを組み合わせれば、表面温度を正確に制御できます。