ネオンサインの場合、熱によるドリフトは現れません。ただ静かに線幅の制御を乱し、歩留まりを下げ、本来安定しているはずの焼成プロセスを予測不可能なものにしてしまいます。リソグラフィーやパッケージングでは、フォトレジストのソフトベイクやハードベイクの段階で熱管理が重要になります。オーブンの加熱要素が正常...

リソグラフィーの工程では、わずか2°Cの温度変動だけでCDの均一性が乱れ、ウェーハが再処理が必要になってしまいます。そのため、サイクルごとに一定の範囲内で温度を維持することが不可欠です。SK15赤外線ランプは、まさにこの要件を満たすように設計されています。 内部構造上の重要なポイント SK15は、...