省エネ型ウェーハヒーター

マシンを加熱するのではなく、ウェーハ自体を加熱しましょう。 半導体ウェーハの取り扱いに慣れている方なら、その苦労がどれほどか理解しているはずです。ウェーハを高温に保つ必要がありますが、高価な機器全体を巨大なヒーターとして使いたくはありません。 一般的な赤外線ヒーターは、熱をあちこちに散らしてしまい...