チャンバーの壁面で無駄に電力を消費するのはやめましょう。
シリコンウェーハを加熱する際、無駄に消費される1ワット毎が、実質的にはお金の無駄になります。
一般的な石英ランプは使い勝手が悪く、熱があらゆる方向に放出されるため、高価な電力の多くがウェーハ自体を温めるのではなく、チャンバーの壁面を温めるだけになってしまいます。これは非効率的です。
そのため、私たちは金メッキ処理を施したツインチューブを使用しています。
金メッキの驚異的な効果
石英の裏側に薄い金の層を塗ることで、赤外線に関しては、金の方が銀やアルミニウムよりも優れています。
これはまるで熱反射鏡のようなものです。熱が360度に散乱する代わりに、金が熱を前方に集中させます。そうすることで、ウェーハに効率的に熱が届き、電流を強くする必要もありません。これは物理学上の賢い工夫です。
ツインチューブによる効果の倍増
「ツインチューブ」構造により、同一の小さな空間内でフィラメントの表面積が2倍になります。その結果、より多くのワット数をより短いランプに詰め込むことができます。
その結果、より集中した熱分布が得られます。通常は高電圧環境で使用するため、電流が制御不能にならないようにしますが、スイッチを入れた時の初期の電流を電源装置がしっかりと扱えるか確認してください。
お客様の設備での使用方法
最良の点は、これらがそのまま既存のIRアレイソケットに取り付けられるということです。システム全体を再構築する必要はありません。
しかし、注意点もあります。金メッキがエネルギーを前方に集約する効果が高いため、ランプの「冷却側」は低温のままですが、ウェーハは大きな負荷を受けます。
PIDコントローラーの調整に時間を割くことが重要です。そうしないと、目標温度を超えてしまう可能性があります。また、冷却ファンも注意が必要です。焦点部分での高温に耐えられないファンを使っていると、装置が損傷する可能性があります。
少しの調整で大きな効果が得られます。