クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もし、クラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、その厳しさはご存知でしょう。たった一粒のほこりでも、適切でない場所にあれば、生産されている半導体製品が台無しになってしまいます。問題は、ほとんどの加熱素子がほこりを発生させる装置...

加熱室がオーブンのようになるのを防ぎましょう 半導体用加熱室を自作したことがある人なら、その苦労がわかるでしょう。実際にウェーハを所定の温度まで上げるのは簡単です。本当の問題は、装置の内壁が過度に熱くなり、人が火傷を負う危険が生じることです。 一般的な加熱要素は、エネルギーを四方八方に放出します。...

なぜ金メッキ処理を施した赤外線ランプがウェーハの加工にとって重要なのか 半導体ウェーハの加工を行う際、温度は重要な要素の一つに過ぎません。本当に重要なのはフラックス密度です。つまり、実際にウェーハの表面にどれだけの熱が届くか、そしてどれだけの熱が機械内部に消えてしまうかということです。 そこで役立...

なぜ、私たちはトロリーヒーターの電気的安全性にこだわるのか？ 半導体製造工場では、わずかな電気アークや、運搬用トロリーの絶縁体に微細な漏れがあっただけでも、それは単なる故障ではありません。それは大惨事です。一瞬で大量のウェーハが廃棄されてしまう可能性があります。 だからこそ、私たちは「ほぼ完璧」で...

なぜ、無鉛チップの硬化にIR加熱を採用するのか？ 半導体の乾燥や硬化処理に携わったことがある人なら、従来の方法がどのようなものかご存知でしょう。つまり、すべての部品を巨大な対流式オーブンに入れて、時間を待つという方法です。しかし、状況は変わってきています。「グリーン」や無鉛規格への移行に伴い、IR...

ネオンサインの場合、熱によるドリフトは現れません。ただ静かに線幅の制御を乱し、歩留まりを下げ、本来安定しているはずの焼成プロセスを予測不可能なものにしてしまいます。リソグラフィーやパッケージングでは、フォトレジストのソフトベイクやハードベイクの段階で熱管理が重要になります。オーブンの加熱要素が正常...