クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もし、クラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、その厳しさはご存知でしょう。たった一粒のほこりでも、適切でない場所にあれば、生産されている半導体製品が台無しになってしまいます。問題は、ほとんどの加熱素子がほこりを発生させる装置だということです。加熱されると、微細な破片が放出されてしまいます。
私たちは、シンプルかつ高純度の素材を組み合わせることでこの問題を解決しました。それは、石英製の赤外線ランプとテフロン（PTFE）製の配線です。
高純度石英の利点
ランプの外装には焼結石英を使用しています。なぜかというと、この素材は大きな温度変化にも耐えられ、空気中に不純物を混入させないからです。
これらのランプは短波長の赤外線を利用します。ウェハーの周囲の空気を温めるのではなく、エネルギーは直接基板に伝わります。これにより、ほこりが発生せず、より清潔に保たれます。
なぜPTFE製の配線を使うのか
通常のPVCやシリコン製の配線は、熱に弱いです。加熱されると分解したり、揮発性有機化合物を放出したりして、作業を台無しにしてしまいます。半導体製造においては、これは許されません。
そのため、私たちはテフロン（PTFE）コーティングされた配線を使用しています。この素材は化学的に安定しており、高温にも耐えられます。劣化したり、破片が発生したりすることもありません。また、真空環境やクリーンルームを清潔に保つのにも役立ちます。
設置時の注意点
ちなみに、PTFEはシリコンよりも硬いので、きつく曲げようとすると、配線が壊れてしまいます。配線に十分な余裕を持たせてください。
また、冷却システムにも注意が必要です。赤外線の出力は非常に強力です。石英自体は純粋ですが、その熱量はかなり強烈です。冷却装置のサイズをちゃんと確認してください。もし小さすぎると、取り付けブラケットが変形してしまったり、端部分のシールが熱に耐えられなくなり、ランプが早く壊れてしまうこともあります。