半導体ヒーター用熱電対

加熱室がオーブンのようになるのを防ぎましょう 半導体用加熱室を自作したことがある人なら、その苦労がわかるでしょう。実際にウェーハを所定の温度まで上げるのは簡単です。本当の問題は、装置の内壁が過度に熱くなり、人が火傷を負う危険が生じることです。 一般的な加熱要素は、エネルギーを四方八方に放出します。...