칩의 벽면에 에너지를 낭비하지 마세요.
실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 낭비되는 1와트의 에너지도 결국 돈의 손실로 이어집니다.
일반적인 석영 램프는 다소 비효율적입니다. 열이 모든 방향으로 퍼져나가기 때문에, 고가의 전력 대부분이 실제로 웨이퍼를 가열하는 데 쓰이지 않고 칩의 벽면을 따뜻하게 만드는 데만 사용됩니다. 이는 매우 비효율적인 방식입니다.
그래서 우리는 금으로 코팅된 트윈 튜브를 사용합니다.
금 코팅의 효과
석영의 뒷면에 얇은 금층을 입혀줍니다. 왜 금일까요? 적외선과 관련해서는 금이 은이나 알루미늄보다 훨씬 우수하기 때문입니다.
이를 열거울이라고 생각해보세요. 열이 360도로 퍼지는 대신, 금층이 열을 앞쪽으로 집중시켜 줍니다. 그 결과, 더 높은 성능의 열이 웨이퍼에 전달됩니다. 전류를 높일 필요도 없습니다. 이것이 바로 물리학의 지혜입니다.
더블 튜브, 더 강력한 성능
“트윈 튜브” 구조 덕분에 같은 작은 공간 안에서 필라멘트의 표면적을 두 배로 늘릴 수 있습니다. 그 결과, 더 많은 전력을 더 짧은 시간 내에 공급할 수 있습니다.
그 결과, 훨씬 더 집중된 열이 발생합니다. 보통은 고전압 환경에서 사용하기 때문에 전류가 너무 커지는 것을 예방하기 위해 설정합니다. 하지만 처음 스위치를 켰을 때 발생하는 순간적인 전류를 처리할 수 있는 전원 공급 장치가 반드시 필요합니다.
설치 방법
가장 좋은 점은 이 제품들이 기존의 IR 배열 소켓에 그대로 장착될 수 있다는 것입니다. 전체 장비를 다시 설계할 필요가 없습니다.
하지만 주의해야 할 점도 있습니다. 금 코팅 덕분에 에너지가 앞쪽으로 집중되기 때문에, 램프의 “차가운 면”은 여전히 차가워집니다. 하지만 웨이퍼는 심한 열에 노출됩니다.
PID 컨트롤러를 조정하는 데 시간을 들이는 것이 중요합니다. 그렇지 않으면 목표 온도를 초과할 수도 있습니다. 또한, 냉각 팬도 확인해보세요. 만약 이런 강력한 열에 견딜 수 없다면, 장비가 손상될 수 있습니다.
약간의 조정만으로도 큰 효과를 볼 수 있습니다.