Berhenti menunggu udara panas: Gunakan cahaya inframerah tanpa ozon
Untuk waktu yang lama, proses pemprosesan semikonduktor dilakukan dengan menggunakan udara panas. Udara dipanaskan terlebih dahulu, kemudian digerakkan ke seluruh permukaan wafer, dengan harapan tenaga tersebut dapat disalurkan ke wafer tersebut.
Masalahnya? Proses ini sangat lambat. Ada kelewatan haba yang mengganggu proses pemprosesan dan mengurangkan kecekapan pengeluaran.
Kami telah menemukan cara yang lebih baik. Kami menggunakan lampu inframerah tanpa ozon untuk mengelakkan penggunaan udara sama sekali.
Tenaga yang dihantar secara langsung. Tiada perantara.
Bayangkan saja: daripada menunggu kipas untuk meniup udara panas ke permukaan wafer, lampu inframerah menghantar radiasi elektromagnetik terus ke permukaan wafer. Prosesnya sangat cepat.
Masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer berkurangan daripada minit menjadi saat sahaja. Jika anda perlu memproses 10,000 wafer sekaligus, penjimatan masa sebanyak 30 saat saja sudah merupakan peningkatan yang besar bagi keuntungan anda.
Tapi bagaimana pula dengan ozon?
Lampu inframerah biasa sering menghasilkan ozon kerana cahaya UV yang dihasilkannya. Dalam bilik bersih, ozon merupakan masalah besar. Ia boleh merosakkan permukaan wafer dan lapisan organik yang sensitif.
Untuk mengatasi masalah ini, lampu kami menggunakan penapis kuarsa khas dan bahan filamen yang telah diubah suai untuk menapis gelombang UV tersebut. Anda tetap mendapat haba yang mencukupi, tetapi tiada bahan kimia berbahaya.
Kompromi yang perlu diterima
Saya tidak akan katakan bahawa ini adalah penyelesaian yang mudah, kerana sebenarnya ia bukan begitu. Cahaya inframerah mempunyai arah tertentu. Jika komponen yang diproses mempunyai bentuk yang aneh atau celah-celah yang dalam, maka akan ada kawasan yang tidak dapat diterangi oleh cahaya tersebut. Anda perlu meluangkan masa untuk merancang susunan lampu dan reflektor agar semua permukaan dapat dipanaskan secara merata.
Selain itu, perlu diingat bahawa lampu ini memerlukan tenaga yang banyak. Pastikan sistem kabel anda mampu menanggung beban tersebut ketika lampu dihidupkan, sinonim dengan risiko kerosakan pada sistem elektrik.
Namun, jika anda ingin mencapai ketepatan dan kelajuan yang tinggi, inilah cara yang terbaik. Anda akan mendapat hasil pemprosesan yang lebih cepat dan efisien. Ini memang masuk akal.