Jangan biarkan kerosakan lampu merosakkan proses penghasilan wafer anda.
Inilah situasi yang menakutkan: Anda sedang menggunakan lampu jenis IR untuk proses pemanasan, tetapi tiub kuarsa tersebut pecah. Ini bukan sekadar masalah kecil; serpihan kaca dan filamen tungsten akan jatuh terus ke atas wafer anda. Dalam sekelip mata, seluruh kumpulan wafer tersebut akan menjadi tidak berguna.
Ia merupakan situasi yang sangat buruk. Namun, ia sebenarnya boleh dielakkan.
Kami mengatasi masalah ini dengan menggunakan pencahayaan yang bersifat reflektif. Ia berfungsi sebagai pelindung fizikal yang melindungi wafer daripada serpihan kaca tersebut.
Bagaimana ia berfungsi sebenarnya?
Kebanyakan orang berpendapat bahawa reflektor hanya berfungsi untuk memantulkan sinar IR kembali ke permukaan bahan yang diproses. Memang benar, tetapi kami merancang pencahayaan ini agar ia dapat melindungi wafer sepenuhnya. Jika tiub kuarsa tersebut pecah, reflektor akan menangkap serpihan tersebut, sehingga ia tidak akan masuk ke dalam ruang proses. Dengan cara ini, wafer tidak akan rosak.
Suhu yang lebih baik, tekanan yang lebih rendah
Kami menggunakan aluminium berkualiti tinggi dengan lapisan khusus untuk meningkatkan keberkesanan pantulan sinar IR. Kelebihannya ialah suhu pada permukaan wafer akan meningkat. Oleh kerana haba lebih terfokus, anda boleh mengurangkan kuasa lampu tanpa mengganggu hasil proses pengeringan. Apabila lampu tidak perlu beroperasi pada suhu yang tinggi, tekanan pada tiub kuarsa juga akan berkurangan. Ini bermakna lampu tersebut kurang berkemungkinan untuk pecah.
Kompromi yang perlu diterima
Tiada apa yang sempurna. Penambahan lapisan pelindung antara sumber cahaya dan wafer akan mengubah corak radiasi sedikit berbanding lampu biasa. Anda perlu meluangkan masa untuk menyesuaikan jarak fokus agar pemanasan berlaku secara merata pada keseluruhan permukaan wafer. Selain itu, pastikan kipas penyejuk berfungsi dengan baik. Jika kipas tersebut tidak sesuai dengan saiz reflektor, haba akan terperangkap di dalamnya, yang akan memendekkan jangka hayat lampu tersebut.
Tetapi setelah semuanya disesuaikan dengan betul, segalanya akan menjadi mudah. Kami membina alat ini untuk operasi 24/7. Anda hanya perlu menyambungkannya ke sistem kawalan PID, dan biarkan reflektor yang menguruskan risiko tersebut. Dengan cara ini, kerosakan lampu yang teruk dapat dielakkan.