もう、ランプの故障によってウェーハのバッチが台無しになるのを防ぎましょう。
こういう最悪の状況を想像してみてください：高負荷のIR照射を行っていると、クォーツ管が破損してしまいます。これは単なる停止時間に過ぎません。ガラスの破片やタングステンフィラメントが直接ウェーハに降り注ぎます。一瞬で、全てのウェーハが廃棄物になってしまいます。
本当にひどい状況です。しかし、これは完全に避けられるのです。
私たちは、専用の反射器を設置することでこれを解決します。これは、ランプとウェーハの間にある物理的な保護装置と考えてください。
実際の動作原理
多くの人は、反射器というのはIR放射線を基板に戻すためのものだと思っています。確かにその通りです。しかし、私たちが設計した反射器は、ランプ全体を覆うように作られています。
もし管が破損しても、反射器が破片を捕らえてくれます。そうすることで、破片が処理室内に飛び散るのを防ぎます。結果、一日中作業が台無しになるという事態を回避できます。シリカの破片も、壊れたウェーハもありません。
より良い加熱効果、ストレスの軽減
私たちは、高純度のアルミニウムを使用し、特別なコーティングを施すことで、短波長のIR放射を効果的に反射させます。
素晴らしい点は、これによってウェーハ表面の熱密度が上がるということです。熱が集中するため、出力を下げても同じ硬化効果が得られます。ランプがそれほど高温にならないため、クォーツ管にかかるストレスも少なくなります。つまり、ランプが破損する可能性も大幅に低下します。
正直な妥協点
もちろん、完璧なものはありません。光源と対象物の間に物理的な層を加えると、開放型のランプと比べて放射パターンが少し変わってしまいます。
ウェーハ全体に均等に加熱されるように、焦点距離を調整する必要があります。また、冷却ファンのサイズも重要です。もし冷却ファンのサイズが反射器の大きさに合っていなければ、熱が内部に留まり、ランプの寿命を縮めてしまいます。
しかし、一度調整が完了すれば、問題ありません。
私たちは、24時間365日稼働可能な装置を製造しています。電源を接続し、PIDコントローラを設定すれば、反射器が危険を吸収してくれます。これにより、致命的な故障を単純なランプの交換に変えることができます。