マシンを加熱するのではなく、ウェーハ自体を加熱しましょう。
半導体ウェーハの取り扱いに慣れている方なら、その苦労がどれほどか理解しているはずです。ウェーハを高温に保つ必要がありますが、高価な機器全体を巨大なヒーターとして使いたくはありません。
一般的な赤外線ヒーターは、熱をあちこちに散らしてしまいます。内壁が熱源となり、大量の電力が無駄に消費されます。最悪なのは、筐体が非常に高温になってしまい、作業員が火傷する危険があることです。本当に厄介です。
実際には、こんな方法で解決します。
私たちは短波長の赤外線ランプを使用します。空気を温めるのではなく、エネルギーを直接ウェーハの表面に照射します。特殊な反射板や石英製のケースを使って、そのエネルギーを集中させます。つまり、熱は必要な場所にだけ行きます。ウェーハがエネルギーを受け取り、筐体は影響を受けません。
なぜこれが業務効率に良いか
このランプを選ぶ際には、狭い範囲内で高い熱密度を持つものを探します。短波長の赤外線は材料の中に素早く浸透するため、温度上昇にかかる時間が大幅に短縮されます。また、エネルギーが集中するため、装置内部の過度な熱の蓄積という問題も解消されます。つまり、快適に作業できるのです。
ただし、注意点もあります
これは魔法ではありません。物理学に基づくものです。エネルギーが集中するため、局部的に非常に高い温度が発生します。基板がそのような急激な温度変化に耐えられない場合、ひび割れや変形が起こる可能性があります。また、PIDコントローラーがこのランプの反応速度に合わせて調整されていない場合、目標温度を超えてしまうこともあります。正確な設定が必要です。
私たちは、古くて不便な加熱装置の代わりに、簡単に取り替えられるシステムを設計しました。これにより、施設の冷却水システムの負担も大幅に軽減されます。そして、メンテナンスチームも、機械が危険な状態にならないことに感謝するでしょう。