工具内の熱漏れを防ごう
ほとんどの加熱素子は、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。半導体製造装置では、スペースが限られているため、これは大きな問題となります。熱が機械の内壁に当たり、筐体が触ると激しく熱くなってしまいます。
これは、作業員にとっての安全上のリスクだけでなく、電子部品にも悪影響を与えます。精度が求められる場合、これは非常に厄介な問題です。
私たちのアプローチは、短波赤外線ランプとカスタムメイドのステンレス製ケースを組み合わせることです。シンプルですが、効果的です。
熱を望む場所に導く
ステンレス製ケースをガイドとして使います。赤外線エネルギーが機械の枠内に漏れ出るのを防ぎ、鏡面処理された内部でエネルギーを前方に反射させます。そうすることで、熱がウェーハや基板上に留まります。
また、私たちは安易にどんな金属でも使うわけではありません。このような高強度のランプの熱に耐えられるステンレス鋼を選びます。
バランスを取る
単純にランプをスチール製の箱に入れておくだけでは不十分です。高出力の赤外線ランプは非常に熱くなります。ランプと反射板の間に十分な隙間がないと、フィラメントがすぐに壊れてしまいます。
これは、幾何学的な調整が必要です。できるだけ多くの反射を得つつ、空気が流れるスペースも確保します。そうすることで、「オーブン効果」が発生するのを防げます。
なぜこれが重要なのか
最も良い点は、装置の壁面の冷却に莫大な費用をかける必要がなくなることです。機械の外側の表面は冷たいままです。もう、誰かが火傷する心配もありません。これは、熱問題を解決するための機械的な解決策です。
もし内部のパネルが熱を吸収しているなら、もうファンを増やす必要はありません。ただ、熱を正しい方向に導けばよいのです。