ツインチューブ型金メッキランプ

チャンバーの壁面で無駄に電力を消費するのはやめましょう。 シリコンウェーハを加熱する際、無駄に消費される1ワット毎が、実質的にはお金の無駄になります。 一般的な石英ランプは使い勝手が悪く、熱があらゆる方向に放出されるため、高価な電力の多くがウェーハ自体を温めるのではなく、チャンバーの壁面を温めるだ...