하나의 고장난 램프로 인해 전체 제품이 망가지는 것을 막아야 합니다.
바이오 센서 제조 과정에서 단 한 개의 램프가 고장 나도 모든 것이 엉망이 될 수 있습니다.
예를 들어, 고부하 작업 중에 적외선 램프가 파손된다고 가정해 보세요. 그러면 석영 조각과 할로겐 가스가 기판 위로 떨어집니다. 이는 악몽과 같은 상황입니다. 이런 2차 오염은 거의 제거할 수 없으며, 그 결과 전체 제품이 폐기되고 맙니다.
우리는 이런 문제를 방지하기 위해 많은 시간을 투자했습니다.
오염을 외부로 방출하지 않기
대부분의 램프는 밀폐 부분에서 고장납니다. 바로 그 부분이 스트레스가 가장 크게 작용하는 곳입니다. 이를 해결하기 위해, 우리는 글라스와 금속이 만나는 부분을 특수한 방식으로 처리하여, 고온 상태에서도 파손되지 않도록 합니다. 또한, 극도로 순수한 석영의 벽두께를 두껍게 만들어 급격한 온도 변화에 견딜 수 있도록 합니다.
하지만 그것으로 끝이 아닙니다.
우리는 램프 주위에 파손을 방지하는 커버를 추가합니다. 이 커버는 보호용 석영 커버 역할을 합니다. 내부의 필라멘트가 고장 나거나 램프가 파손되더라도, 외부 커버가 그 파편들을 막아줍니다. 이는 간단한 안전 장치일 뿐이지만, 신속한 부품 교체와 전체 생산 라인의 정지 사이의 차이를 만들어냅니다.
열 문제 해결
램프를 최대 출력으로 작동시키면 엄청난 양의 열이 발생합니다. 만약 냉각 시스템이 이 열을 감당하지 못한다면, 램프의 끝부분이 과열되어 파손될 수 있습니다.
이를 방지하기 위해, 우리는 필라멘트의 길이와 전압을 조절합니다. 이렇게 하면 열이 균등하게 분산되어 특정 부분에 과열이 발생하는 것을 막을 수 있습니다. 이를 통해 유리가 손상되거나 조기에 파손되는 것을 방지할 수 있습니다.
현실적인 타협점
문제는, 이러한 보호 커버를 추가하면 적외선의 전달이 약간 방해받는다는 점입니다. 따라서 목표 온도에 도달하기 위해서는 전력을 조금 높이거나 웨이퍼를 조금 더 오랫동안 그곳에 두어야 합니다. 이는 작은 조정일 뿐이지만, 치명적인 오염을 방지하기 위해서는 그만한 대가를 치르는 것이 필요합니다.
단, 고온에 견딜 수 있는 전선을 사용하고 반사판을 항상 깨끗하게 유지해야 합니다. 그렇게 하면 수율을 높일 수 있으며, 클린룸도 깨끗하게 유지될 것입니다.