停止在半加工过程中浪费时间来加热空气吧
说实话，用热空气来加热硅片的方式效率实在很低。实际上，你只是在等待空气来完成加热工作，而在大规模生产中，这种延迟会严重拖累整体效率。这无疑是一种巨大的时间浪费，还会影响到其他工序的进行。
我们找到了更好的方法：不用让空气循环，而是利用精准的红外传感器和发射器，通过辐射来传递热量。
为什么红外技术优于对流加热
对流加热需要介质才能发挥作用，而红外技术则不需要。红外发射器可以直接将光子照射到硅片上，无需先加热整个腔室内的空气。这样的方式几乎可以瞬间完成加热过程。
在构建这类系统时，我们需要花费大量时间来调整波长，确保能量能够有效渗透到材料内部，而不是只是从表面反射回去。这就好比普通的热灯只能让人感觉温暖，而真正的加热设备则能真正加热食物一样。
应对热惯性问题
传统的空气烤箱具有很大的热惯性，它们需要很长时间才能升温，降温也需要很长时间。如果想要实现精确的温度控制，那简直就是一场噩梦。
而红外技术则完全不同，它的热惯性几乎为零。你可以以毫秒级的速度调节温度，这一点非常快。这样一来，就可以缩短处理时间，从而提高每小时的处理量。
当然，也有缺点
虽然速度很快，但这也意味着有一些弊端。红外技术的加热是定向的。如果硅片的位置稍有偏差，或者发射器的排列不准确，那么就会产生局部过热的情况。你不能简单地放置一个红外灯就期望它能解决问题。你需要一个能够实时监测表面温度并自动调整各区域功率的传感器系统。此外，还要确保冷却系统能够应对快速的温度变化，否则硅片就可能会变形。